微电子超纯水是指化学纯度高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子行业。

　　微电子超纯水设备技术特点：

　　1、一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

　　2、二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

　　3、三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。

　　微电子超纯水设备维护方式：

　　为了保证超纯水设备长期稳定运行、时刻保持出水质量符合生产使用标准，必须对设备进行定期维护。EDI模块是纯水制取装置中的一项技术，此模块的价位较为昂贵。所以为了降低企业投资成本，也要对它进行保养维护。为了避免杂质在模块内堆积，要对其进行定期清洗。在设备运行过程中保持压力稳定。膜元件在纯水制取中起到去除污染物质的功效，它具有孔径微小的特点，所以，对该元件要进行定期清洗和更换，避免杂质常年堆积导致膜元件受到污染或者堵塞，直接影响产水质量。