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详情介绍
精密电子清洗包含SMT电子清洗、功率电子清洗和先进封装清洗,清洗后会产生清洗废水。
SMT电子清洗涵盖去除印制电路板(PCBA)、钢网/丝网、误印板、SMT回流炉、波峰炉的维护部件及夹具上的助焊剂及锡膏残留。对于印制电路板清洗(PCBA清洗),主要目标是去除电路板上的松香、树脂残留物,以及生产过程中的其他污染,这对后续工序中的邦线和塑形涂敷都是很有帮助的。清洗过程中需要加入专用的清洗剂,如PCBA清洗一般加入水洗型清洗剂(俗称洗板水),清洗工艺上尽管做到了很大程度的回收利用,但是不可避免的会产生清洗废水,这类清洗废水需要通过工艺处理后回用或达标排放。
功率电子清洗主要去除功率电子器件,如功率模块/DCB/IGBT、引线框架/分立器件和高功率LED等元器件上的助焊剂残留。在功率电子制造行业,清洗IGBT模块,即DCB(也称为DBC)是有必要的。首先在芯片焊接之后的绑线工艺之前,必须准备好洁净的基材表面。另外,基材焊接到散热单元之后,即热沉焊接之后,进行DCB清洗也是必须的。功率模块清洗工艺的两个主要需求:1、去除助焊剂残留物,尤其是去除飞溅在基材和芯片上的助焊剂,2、基材和芯片经目检无瑕疵,例如没有氧化层。此清洗过程同样会产生清洗废水,且同样需要通过工艺处理后回用或达标排放。
先进封装清洗涵盖了倒装芯片,2.5D/3D TSV硅通孔、BGA植球、MEMS、QFN和晶圆级封装。清洗工艺用于预植球,即焊锡凸块回流工艺之后,去除芯片和基材之间狭小空间里的助焊剂残留物,为了达到很好的图形分辨率,清洗工艺也需要摄像模组达到零微尘和零水痕。去除助焊剂残留和微尘残留,可有效避免图像传感器上的坏点产生。例如,倒装芯片 & 2.5D/3D TSV 清洗,过倒装芯片(FlipChip),2.5D封装(interposer,RDL),3D封装(TSV)这些系统级封装技术将芯片贴装后,引线键合、底部填充以及塑封成型前的助焊剂去除是至关重要的挑战,特别是对于TSV封装、不断提高的封装密度和日益缩减的底部间隙。先进封装清洗过程中也会产生清洗废水需要处理后回用过达标排放。
工艺流程:
根据以上精密电子清洗工艺及清洗化学剂的成分综合考虑,我们采用工艺流程为“预处理+光芬顿+混凝沉淀+精密过滤+RO反渗透",其主要的COD负荷及核心工艺为光芬顿,此外RO脱盐的同时,也起到尾端出水的水质保障功能,使出水能达到回用要求。考虑到精密电子行业的占地和现场要求,将该工艺标准化设计,集装箱结构形式,现场使用和运行更加灵活。
图1一体化集成工艺集装箱设备
光芬顿原理:
Fenton氧化工艺是利用Fe2+与H2O2互相反应得到的强氧化性的羟基自由基,将废水中的难降解有机物加以降解的技术。
把光引进芬顿试剂并不是普通芬顿与UV或 H2O2的简单组合,其核心在于,在UV高强光量子的激发下,Fe3+能够重新转化为Fe2+,光还原产生的Fe2+继续与H2O2反应,使•OH产率增加,加速有机物的分解速率,从而实现系统的一个闭路循环和控制。
此外,紫外线和Fe2+对H2O2的催化分解存在协同效应,即H2O2分解速率远大于Fe2+或紫外线催化H2O2分解速率的简单加和,这一方面是在光催化作用下,部分Fe3+可以转化为Fe2+,另外铁的某些络合物在紫外线作用下会生成羟基自由基。
光芬顿优点
1、紫外光和Fe2+对H2O2催化分解存在协同效应,反应效率得到较大提升;
2、Fe3+和Fe2+能保持良好的循环反应,提高了传统芬顿试剂的效率;
3、能大幅提升铁离子的利用率,铁盐投加量和污泥产量较传统芬顿均降低,节省运行成本。