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更新时间：2024-07-22 | 阅读：2013
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TOC超纯水
微电子行业制备超纯水流程中，因紫外线技术在超纯水高品质要求中不引入新的物质，而得到广泛应用。
有机物是超纯水系统中最难控制的污染，随着集成电路临界尺寸不断缩小挑战，对超纯水中TOC值的要求越来越高，因此，如何配置紫外线，如何确认配置中紫外线设备的有效紫外剂量，进而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯将为您解决这些运营困扰。
185nmUV主要用于去除超纯水制备过程中的TOC，使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。
![R~683MBIXR4LWG@K{8MG]2L.png](https://img67.hbzhan.com/gxhpic_629c7508b9/d6168c174cc86a7356f52dff09ddf5397845249763e2fb72be90c15fcf8ff54326264cc865eb3e4f.png "R~683MBIXR4LWG@K{8MG]2L.png")
TOC超纯水
产品规格：
| 处理水量 | 2~60m3/h |
| 灯管配置 | 12~48支 |
| 灯管类型 | 85w/155w(185/254nm双波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 镇流器 | 50~100%输出功率可调 |
| 反应器材质 | 316L |
| 洁净等级 | 内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2） |
| 法兰尺寸 | DN50~DN200 |
| 额定压力 | PN10 |
| 控制柜等级 | IP55，碳钢喷塑 |
| 控制系统 | 本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统 |
| UV强度传感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
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