半导体超纯水说明

n 产品介绍：

EX-UPW-TOC产品系列是一款适用于纯水（UPW）制备中对总有机碳（TOC）进行降解的先进可靠系统。通过更高185nm穿透率、实时在线的紫外线强度监测、本地/远程的智能控制，实现高效、安全可控的总有机碳（TOC）降解。该设备在超纯水制备工艺中，可使纯水TOC降至1ppb以下。

n 主要优势：

² 安全可控

真空级平行光束仪进行理论安全剂量指导设计，足够紫外线剂量实时输出可调，系统智能自控。

² 更高去除效率

更高纯石英玻璃，系统185nm紫外线强度输出较传统产品提高50%以上。

² CFD流体模拟

进行细节模拟设计，提高处理效率

² 性能稳定、操作简便

本地与远程控制，配备PLC、触摸屏，紫外强度实时显示及预警

² 先进的加工工艺

采用先进设备、工艺加工，反应器内外电解抛光，Ra<0.2

² 多形式选择

满足现场多样化安装形式，产品可选择成套撬装，占地面积小

半导体超纯水产品规格：

半导体超纯水说明应用领域：

1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板

2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗

5. 液晶显示器的生产、屏面清洗

6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片

7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产